萊寶TTR101N真空計參數

變送器開(kāi)箱之前，檢查包裝材料的各個(gè)表面，查看是否存在運輸損壞。檢查可見(jiàn)損壞。如果發(fā)現損壞，請立即通知承運方。
請確認變送器包裝中含有以下物件：
? 1 件TTR 101 N THERMOVAC 變送器
? 1 件中文簡(jiǎn)式手冊 (P/N: 300544668_002)
? 1 件德文簡(jiǎn)式手冊 (P/N: 300544668_001)
? 1 件產(chǎn)品檢驗測試報告
? 1 件通過(guò)按鈕調整設定時(shí)需用的銷(xiāo) (僅適用于 P/N: 230350V02、230351V02、230352V02、230353V02、230354V02、230355V02、230356V02、230366V02)
如果缺失任何物件，請聯(lián)系 Leybold。
6 300544655_002_C0 - 10/2016 - © Leybold
2 說(shuō)明
TTR 101 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1500 毫巴的較大測量范圍，基于對 MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導性和壓電傳感器中硅膜的機械偏轉的測量結果。
配備 RS232 數字通信接口 (P/N: 230366V02) 和 EtherCAT 數字通信接口 (P/N: 230702V02) 的變送器版本可設置變送器參數，并可提供實(shí)時(shí)壓力測量結果。更多詳情，請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 230354V02、230355V02、230356V02) 的變送器版本能夠監控基本的變送器參數。更多詳情，請參閱第 0 章。
TTR 101 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。 所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺變送器在出廠(chǎng)前已逐臺進(jìn)行全量程測試。測試報告隨附在包裝中。此外，每個(gè)變送器壓力讀數均在操作溫度范圍內逐一得到溫度補償。
變送器擁有多達三個(gè)機械繼電器，這些繼電器可用于過(guò)程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設備，用于獲取壓力讀數，或進(jìn)行壓力控制。
傳感器技術(shù)
變送器含有兩個(gè)獨立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機械系統)) 傳感器元件基于熱傳導性的測量結果。MEMS Pirani 傳感器包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片，其構成空腔的一個(gè)表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內無(wú)法進(jìn)行對流，因此，傳感器對安裝位置并不敏感。通過(guò)擴散，氣體分子只到達熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。
壓電傳感器基于相對于集成式參考真空的硅膜機械偏轉測量結果。壓電傳感器獨立于氣體成分和濃度來(lái)測量真實(shí)的絕對壓力。
這兩個(gè)傳感器元件都極為堅固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
應用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應用中，如：工業(yè)應用、研發(fā)、半導體、分析和涂料工業(yè)中:
? 真空鎖壓力控制
? 一般真空壓力測量
? 前級管道和粗抽壓力測量
? 氣體回填測量和控制
? 質(zhì)譜儀控制
? 啟動(dòng)超高真空電離 (UHV) 規
? 系統過(guò)程控制
? 檢測異常壓力，利用設定點(diǎn)繼電器采取妥當的安全措施
? 控制系統壓力

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