iH1800愛(ài)德華半導體干泵維修

iH1800 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59040957

技術(shù)數據

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數字均為無(wú)氣鎮時(shí)的典型值。

iH1800 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59060945

技術(shù)數據

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數字均為無(wú)氣鎮時(shí)的典型值。

iH1800HTX 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A59042908

技術(shù)數據

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數字均為無(wú)氣鎮時(shí)的典型值。

iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59042945

技術(shù)數據

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                     502 kg

極限功率輸入             4.1 kW

電機額定功率             7.0 kW

油容量                  1.6 l

所有數字均為無(wú)氣鎮時(shí)的典型值。

iH1800HTX 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A59042946

技術(shù)數據 

峰值速度                   1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                    1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                        502 kg

極限功率輸入                4.1 kW

電機額定功率                7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數字均為無(wú)氣鎮時(shí)的典型值。

iH1800HTX 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A59042957

技術(shù)數據

峰值速度                1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                    502 kg

極限功率輸入            4.1 kW

電機額定功率                   7.0 kW

油容量                       1.6 l

所有數字均為無(wú)氣鎮時(shí)的典型值。

iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A59062945

技術(shù)數據

峰值速度                   1800 m3h-1

                                1060 cfm

                                30000 l min-1

極限真空                1 x 10-3 mbar

                                7.5 x 10-4 Torr

                                0.1 Pa

典型軸封氮流量                4 slm

進(jìn)氣口連接                ISO160

出口連接                NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量240 l h-1

                                4 l min-1

重量                         502 kg

極限功率輸入             4.1 kW

電機額定功率              7.0 kW

油容量                        1.6 l

所有數字均為無(wú)氣鎮時(shí)的典型值。

通過(guò)增加正常運行時(shí)間、減少對環(huán)境的影響以及良好的成本效益，iXM 低能耗干泵可為您的關(guān)鍵應用帶來(lái)真正的制程改進(jìn)。

高效的根源機制可將輸入功率減少多達 60％，從而減少對環(huán)境的影響并降低總體使用成本

氣體阻隔技術(shù)和隔熱設計方面的改進(jìn)使產(chǎn)品的抗腐蝕性比我們之前的系列提高了四倍

先進(jìn)的粉塵處理功能可為多層蝕刻工藝提供更高的可靠性，延長(cháng)真空泵使用壽命，并降低 CVD 工藝的功耗

緊湊輕巧的設計，加上極低的噪聲和振動(dòng)，可提供更多的用途

采用 Xcede 技術(shù)，增強了耐腐蝕性。

半導體干泵用于重型應用的 iXH 系列

iXH 干泵系列為嚴苛的工藝能力、可靠性和更低的擁有成本樹(shù)立了新標準。

寬廣的溫度范圍使您可以對真空設備進(jìn)行優(yōu)化，更大地減少冷凝和電鍍的副產(chǎn)物累積

iXH Mk2 干泵可在嚴苛的工藝中提供更長(cháng)的使用壽命，并且可以顯著(zhù)提高功效

創(chuàng )新的密封技術(shù)可以延長(cháng)制程壽命并降低泄漏風(fēng)險

采用 Xcede 技術(shù)，增強了耐腐蝕性。

iH1800愛(ài)德華半導體干泵維修